25年09月05日ICP-OES 5800VDV电感耦合等离子体质谱仪在江西专为严苛半导体材料分析

合作伙伴：江西某半导体新材料公司

仪器类型：电感耦合等离子体质谱仪

品牌：安捷伦

型号：ICP-OES 5800VDV

2025年09月05日， 再次衷心感谢江西某半导体新材料公司的信任与支持！贵司再次选购的安捷伦电感耦合等离子体质谱仪5800VDV ICP-OES已顺利完成安装调试与培训。

ICP-OES 5800VDV电感耦合等离子体质谱仪具备同步垂直双向观测（SVDV）等功能，专为严苛半导体材料分析而生，助力客户品质控制与研发创新。感恩再次选择，谱标将继续以专业技术与服务为半导体产业赋能！

Agilent 5800VDV：半导体级 ICP-OES 的“速度+精度”双引擎

一、SVDV 同步垂直双向观测 —— 一次读数 = 轴向 + 径向双重信号

轴向光程长，检出限低（ppb 级）

径向基体耐盐高，可减少 90% 易电离元素干扰

同步采集，无需重复进样，产能直接翻倍

二、半导体硬核配置

高纯石英炬管 + Pt 锥接口，空白 Al＜1 ppb、Fe＜0.5 ppb

冷等离子体模式，K、Na 背景＜0.2 ppb，满足 SEMI G5 级高纯试剂

耐 HF 基体进样系统（PFA 雾化器、惰性炬管），直接测 BOE、磷酸蚀刻液

密闭风箱光室，N2  purge ≤ 5 min，远紫外（167 nm）测 Al、P、S 更灵敏

三、ICV/CV 自动 QC 策略

"IntelliQuant" 360° 全谱扫描，一次曝光即可识别 70+ 杂质，误差＜5%

内置 SEMI/GB/T 模板，自动输出 "Pass/Fail" 报告，QC 失败即刻停泵并邮件报警

方法开发向导：输入基体与目标限，仪器自动推荐波长、内标与背景校正点，10 min 生成 SOP

四、产能与成本实测

高纯硫酸（H2SO4 98%）中 20 元素，检出限 0.3-3 ppb，样品通量 120 个/班

与 5100 单轴向相比，氩气节省 30%，炬管寿命延长 40%，年度耗材成本 ↓ 约 1.8 万元

五、典型半导体应用场景

高纯湿电子化学品 —— HF、H2O2、H2SO4、IPA 中 35 元素 ≤ G5 级

硅片/晶圆表面 —— 全反射 XRF 前处理浸提液，Fe/Ni/Cu/Na 污染监控

CMP 抛光液 —— Al2O3、SiO2 浆料中 Na、K、Ca、Mg 杂质 ≤ 50 ppb

光刻胶与溶剂 —— PGMEA、NMP 中 Li、B、P、S 超低背景检测

靶材与电子陶瓷 —— ITO、Ti、Ta、Co 靶中痕量 U/Th（<0.1 ppb）放射性控制

六、一键开机 + 远程诊断

"Plug & Ignite" 30 min 完成波长校准与性能测试，网络连接工程师在线诊断 > 80% 故障，停机时间＜4 h

选择 5800VDV，让 ppb 级杂质无处遁形，为晶圆良率、靶材纯度与工艺研发提供"即刻可判"的数据底气！