1974年

产出第一台ICP商品机

上世纪60年代末期，采用电感耦合等离子体源的原子光谱技术成为当时应用于微量元素分析的一项非常有前途的技术。1970年人们注意到，使用当时的光谱仪分析岩石样品中的微量元素遇到高浓度基体（高于30%）时，基体谱线会对微量元素产生明显的干扰。对富含谱线的基体元素Ca、Al、Fe等来说，产生的干扰尤为严重。这种潜在的制约因素存在促使人们寻求其它的多元素微量分析方法，直至1974年才由美国Applied Research Laboratories生产出第一台商品机，该仪器用于溶液分析。

1974年

直流等离子体技术突破

经过尝试，认为常压电流（DC）和射频（RF）等离子体在应用中显出这种作用，特别是ICP作为发射源使等离子体中分析物有效电离能够满足新一代仪器源的要求。同时也注意到惰性气体在大气压下的电等离子体可能是一个很好的离子源。因此人们采用四极杆质量分析器和通道式离子检测器开展可行性研究。Gray在1974年完成了直流等离子体技术突破。

1975-1980年

ICP与MS相结合

一些项目研究也随之在美国和加拿大两国开展，美国研究人员主要采用ICP,而加拿大研究人员采用微波诱导等离子体MIP（1981），后来也改用ICP（1983）。在此期间美、英建立了密切的项目合作关系，共同解决ICP与MS结合时的一系列关键技术问题：

1，由于ICP高温射频场带来的问题；

2，高温等离子体与质谱的接口问题；

3，如何降低等离子体对地电位问题等。

1981年

获得第一张ICP谱图

而这些问题的集中于必须提供一个样品入射孔，同时入射孔也要足够大，以避免在它前面形成一个冷界面层。这就要求孔径不小于0.2mm，还要改进设备提取气体能力。1981年Gray在Surrey实验室设计完成了ICP源上所预期性能的设备，获得了第一张ICP谱图（Gray，1982；Date和Gray，1983a；Gray和Date，1983；Gray，1986a）。

1984年

实验室首次安装ICP-MS

1983年英国VG公司与加拿大Sciex公司率先推出世界上第一台ICP-MS。1984年在用户实验室才首次安装ICP-MS。在此以后ICP-MS在化学分析中广泛应用开来。

安捷伦ICP-MS 7500/7700

1987年第一代产品，第一台计算机控制安捷伦ICP-MS仪器，型号PMS-100，

现在安捷伦7500系列有：2000年第六代 安捷伦7500A,7500I,7500S

                                      2001年第七代，安捷伦7500C

                                      2002年第八代，安捷伦7500CS

                                      2003年第九代，安捷伦7500CE

                                      2007年第十代，安捷伦7500CX

                                      2009 安捷伦 ICP-MS 7700上市。