进入20世纪80年代，Houk等提出ICP作为离子源的质谱法，自1983年第一台商品化仪器采用以来，由于ICP可以提供很好的无机物分析所需的离子源，在ICP与质谱计之间的接口解决之后，ICP—MS在无机元素超痕量分析方面获得了巨大的成功，发展相当迅速。

电感耦合等离子质谱法（ICP-MS）

ICP质谱仪是无机物质谱分析的常用手段。它由ICP离子源、接口、离子光学系统、质量分析器以及检测系统组成。离子光学系统和质量分析器的高真空．用油扩散泵、涡轮分子泵获得。

ICP—MS中的离子源是ICP，使用的炬管与ICP—AES所用的基本相同，在仪器中水平放置，而发射光谱中有垂直和水平两种放置方式。无机物的质谱分析中，除ICP离子源外，还有用灯丝加热的热离子化、高频火花离子源、辉光放电离子源以及用激光进行离子化的方法。

ICP离子源要求试样以气体、蒸汽或气溶胶的形式进入等离子体中，溶液试样通过同心型气动雾化器或用超声波雾化器获得气溶胶。对微量、微区样品也有用电热蒸发，固体样品的激光烧蚀，气体氢化物或气体氧化物发生法等产生气溶胶。样品导人ICP的方法随样品的状态，如气体、液体和固体，而有所不同。

从离子源中提取出离子送人质量分析器，这个功能由接口、离子光学系统来完成。它们是ICP质谱仪的关键部件之一，其设计直接影响分析性能。

接口是ICP离子源与质谱仪的连接装置，在它的两端是截然不同的两个环境，一边是常压、高温和腐蚀性的气氛，另一边则是真空、常温和洁净的环境，它的功能是将大气压下高温氲等离子体产生的离子连续地引出，并均一地转移到真空状态的质谱仪进行质量分离及测量。所以接口是ICP—MS仪器的一个重要而关键的部分，它的传输特性直接影响着ICP—MS仪器的分析性能。在离子进入质量分析器之前，需要通过离子光学系统。分离得到的离子用离子镜聚焦，形成一个方向的离子束，使其有效地被质量分析器过滤和传递；同时，用离子光学系统还可除去等离子体发射的光子，以抑制噪声干扰。离子束进入质量分离器，再由电子倍增器进行检测。

质量分析器的作用是分离不同质荷比的离子，它的种类很多，在ICP—MS中最先使用的是四极质谱仪，也使用双聚焦磁场的高分辨率质谱仪。

电感耦合等离子质谱仪性能指标

尽管电感耦合等离子质谱仪的种类很多，衡量电感耦合等离子质谱仪的主要性能有以下几个指标：

(1)质量测定范围指仪器能分析样品的相对原子量范围。用原子质量单位(1u),一个处于基态12c中性原子质量的1／12度量，也称1道尔顿(Da)，有在非精确测定质量场合中，可用原子量的整数表示。

(2)分辨率R指分开相邻质量数离子的能力。对于两个强度相等，质量数m1、m2相邻的质谱峰，两峰的谷不大于峰高的10％，则可认为两峰已分开。有

R=m1／(m1一m2)(m2>m1)(19一17)

(3)灵敏度质谱仪的灵敏度有多种表示法，绝对灵敏度是指可检出的最小纯样品量，常用于有机质谱，一般优于10-10g，相对灵敏度是指可同时检测大组分与小组分含量之比，常用于无机质谱，可达10-9；分析灵敏度是指输入仪器的样品量与仪器输出的信号比。